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| 晶圆传输盒 / 前开式晶圆传送盒 200mm(8英寸) FOUP

 
晶圆传输盒
产品规格
● 产品名称:FOUP 晶圆传输盒
● 产品编码:CK213
● 产品尺寸:
 252.5(L) x 224.2(W) x 213(H)mm
● 重  量:2930g
● 容  量:13 PCS
● 适用圆形衬底尺寸:200mm(8英寸)晶圆
● 组成材质:定制化
● 槽  距:12.7 mm
线上咨询
产品说明
200mm FOUP 晶圆传输盒 / 前开式晶圆传送盒 ,可保护、运送、并储存200mm晶圆,在运输传载及储存时提供安全防护。降低因不同工艺步骤产生的晶圆微尘污染与损失,进而促进良率、提高产量,避免晶圆受静电损害,设计用于在受控环境中安全可靠地固定硅片,并允许晶片在机器之间转移以进行处理或测量。 支援AMHS功能,提供高洁净度之晶圆承载与自动化解决方案。
晶圆传输盒 晶圆传输盒
产品特点
● 专利字号:
台湾专利字号第I586597、M563421、M588109、M628876、M625383、M654854号
中国专利字号第CN204348693U、CN205609490U、 CN206259327U、CN208007736U、CN210654281U 号
韩国专利字号第20-0486265号
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