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| 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒 / Wafer SMIF Pod 200mm(8英寸)

 
开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒
产品规格
● 产品名称:SMIF Pod / 自动化晶圆传送盒
● 产品编码:WSP200
● 产品尺寸:
  292.2(L) x 282.8(W) x 253.6(H)mm
● 重  量:2600g
● 容  量:1 Set 8”Wafer Cassette
● 适用圆形衬底尺寸:200mm(8英寸)晶圆
● 组成材质:PC/PC ESD
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产品说明

SMIF Pod 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒,自动化传送盒内放置晶圆芯片料盒(Cassette),可固定晶圆片,进入SMIF上料口输送,确保200mm晶圆在制程站间运送与储存的安全防护。

● 高洁净度承载,选配充气功能,耐高温耐磨耗材质
● CHD三点定位接触设计,减少印痕

开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒
8" 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒 8" 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒 底盘无螺丝设计版本
产品特点

● 专利字号:
台灣专利字号第M582948号

● 可搭配RFID电子货架使用,自动读取RFID,记录每个格位最近100笔RFID资料,并透过人机介面查询。

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