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| 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒 / Wafer SMIF Pod 150mm(6英寸)

 
开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒
产品规格
● 产品名称:SMIF Pod / 自动化晶圆传送盒
● 产品编码:WSP150
● 产品尺寸:
  230(L) x 214.5(W) x 201.2(H)mm
● 重  量:2297.5g
● 容  量:1 Set 6”Wafer Cassette
● 适用圆形衬底尺寸:150mm(6英寸)晶圆
● 组成材质:PC/PC ESD
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产品说明
SMIF Pod 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒,自动化传送盒内放置晶圆芯片料盒(Cassette),可固定晶圆片,进入SMIF上料口输送,确保150mm晶圆在制程站间运送与储存的安全防护。
开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒
6"开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒 6" 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒 8"开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒
产品特点
● 专利字号:
台灣专利字号第M582948号

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