Square Glass FOUP/Panel FOUP,GL-FP313 FOUP 可承載方片玻璃、Glass Panel、PCB載板。應用於面板級扇出型封裝Panel FOUP for FoPLP (Fan-out Panel Level Process),提供高潔淨度承載與自動化解決方案。
Square Glass FOUP/Panel FOUP特點
● 大尺寸設計,可支援AMHS或自動化傳載
● 設計有充氣孔位,2進2出,確保Square Glass FOUP內超高潔淨度承載。
● 專利字號:
台灣專利字號第M552477、M552478、 M588105、M588108、M588355號
中國大陸專利字號第CN210556833U號 |