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製品情報
  光電・半導体製品 ウエハキャリア
● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA ウエハカセット
● PP / PEI / PCカセット
● Metal / PEEK ウエハカセット
● Shipping Box / Single Tray /
Storage Box

● Other
 

ウェーハサイズ
● 150mm
● 200mm
● 300mm

  ステンレス製品
● Metal Frame /Wafer Frame / Wafer Ring
  半導体パッケージ
● IC Tray / LED Tray / Frame / Frame Cassette / Frame Box
  レチクル/マスク容器
● Mask Package Box / RSP 150 /
Mask SMIF Pod0
  半導体スクエアガラス
● Square Glass Cassette
● Panel FOUP / FoPLP FOUP
  太陽電池キャリア-ソーラーウェーハカセット/Solar Transfer/ウェーハカセット/メタルカセット
● Solar Cassette/Clean Cassette
  TFT-LCD-ノーマルカセット各世代の大型化のニーズ、軽量化、クリーンルーム用、ESD等対策に応じた設計
● 真空ピッカー/ Vacuum Picker / Vacuum Penガラス基盤向け搬送用のカセットシリーズ-ガラス基板カセット / 自動化の台車
  光電・半導体設備
● カセット転換器具、自社開発光学検査設備
  プラスチック鋼金型製造
● 金型射出受託製造
● 板棒材の加工-電子ブック、鉤型電流計、CAD手書きタブレット
  クリーンルームの洗浄及び組立
● クリーンルームの洗浄について
● 洗浄機設備 / 超音波洗浄機 / デスクトップ型洗浄機 / 単槽式洗浄 / 丸棒コーティング洗浄
 

 


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| レチクル SMIF ポッド / Reticle SMIF Pod -UPNP

 
レチクル SMIF ポッド / Reticle SMIF Pod
製品仕様
● 製品名:UPNP レチクル SMIF ポッド
● 部品番号 :RSP-UPNP
● 外形寸法:227.5(L) x 229.8(W) x 92.5(H)mm
● 重さ:1188g
● 収納数:1 PCS
● 適応サイズ:152 x 152mm 光罩
● 材質:PC / PEEK
お問い合わせ
 
コンセプト
Reticle SMIF Pod / RSP150
6インチのRSP製品は、各工程にレチクルを安全に運ぶことが可能です。高い清浄度を維持することが出来る設計になっています。さらに自動化マシーンに応用している。N2 Purge機構を採用しているのでさらに内部の清浄度のあげることが出来る。
ASML、Nikon、Canon…などの関連RSPの製造工程/運送用マシーンに対応できる製品を提供できる。
カスタマイズ
カセットにRFIDを付けることが可能です。   バーコード識別ステッカーを貼り付けて、管理と追跡を容易にします。   Run Cad
カセットにRFIDを付けることが可能です。   バーコード識別ステッカーを貼り付けて、管理と追跡を容易にします。   Run Cad
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