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● 製品名:CKH313 FOUP |
● 外形寸法:440(L) x 347(W) x 337(H)mm |
● 収納数:13 枚 |
● 丸形ベースサイズに適用:300mm 薄ウェーハ |
● 材質:カスタマイズ |
● 溝ピッチ:20mm |
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ウェハーを保護するか、搬送するか、あるいは、保存する用途である。ウェハー側に埃の汚染及び、静電気の損害を有効的には、下げることが可能となる。AMHS自動化マシーンにも対応できる。 25枚用は、一般的なウェハーに適用する。13枚用は、グラスキャリアと薄いウェハーに適用する。 |
FOUP - フロント
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FOUP - バック |
FOUP Door Key |
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FOUP CKH313
13 枚 |
FOUP CKH313
13 枚 (Back Support) |
FOUP CKH300
25 枚 |
Ckplas could customize the product depends on customer’s requirements on different manufacturing process. |
Wafer Type |
Standard Version Wafer |
Thin Wafer |
Process Type |
General Process |
Low Moisture Absorption Material |
General Process |
Model |
H300-S1 |
H300-L1 |
H313-S1 |
H313-S2 |
Capacity |
25 slot |
25 slot |
13 slot |
13 slot |
Weight |
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5.6kg |
6.2kg |
Main Material |
PC ESD |
CBM ESD |
PC ESD |
PC ESD |
Rear Window |
See Through Window |
Black Window |
See Through Window |
Black Window With Back Support |
Temperature Tolerance |
≦ 80°C |
≦ 80°C |
Inflatable Raft Distance |
160x250mm |
160x250mm |
RUN CARD |
v |
v |
v |
v |
RFID |
v |
v |
v |
v |
Wafer Type |
Thin Wafer |
Process Type |
General Process |
Low Moisture Absorption Material |
High Temperature Process |
Model |
H313-S3 |
H313-L1 |
H313-L2 |
CK313HT |
Capacity |
13 slot |
13 slot |
13 slot |
13 slot |
Weight |
6kg |
5kg |
6kg |
6.6kg |
Main Material |
PC ESD |
CBM ESD |
CBM ESD |
PEI ESD |
Rear Window |
See Through Window With Back Support |
Black Window |
Black Window With Back Support |
ESD Removable
Airtight Black Window |
Temperature Tolerance |
≦ 60°C |
≦ 80°C |
≦ 80°C |
≦ 150°C |
Inflatable Raft Distance |
160x250mm |
160x260mm |
RUN CARD |
v |
v |
v |
x |
RFID |
v |
v |
v |
x |
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特許番号
台湾特許番号:I586597、M563421 、M528296、M588109
中国特許番号:CN204348693U、CN205609490U、 CN206259327U、CN208007736U、CN210654281U 、CN210654281U
韓国特許番号:20-0486265 |
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● Able to install RFID & Run Card |
● Black Window With Back Support |
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