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| Frame FOUP

 
12" Frame Light Cassette
产品规格
● 产品名称:Frame FOUP
● 产品编码:CKF300
● 产品尺寸:
 387.0(L) x 392.0(W) x 196(H)mm
● 容  量:13 PCS
● 适用圆形衬底尺寸:12 inch (Ø300mm)
● 组成材质:PC+CNT
● 装箱数:2 PCS
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产品说明

一体成形,门片可使用机械自动化开启,密闭式、抗静电、轻量化。

 支援原有机台载入、支援自动化传输系统、智慧料架自动化储存。

 高强度 Top Flange,抗震耐磨。

品名 吋別 产品编码 容量 差异
Frame FOUP 12" CKF300 13 pcs 档门活动式
Frame FOUP 8" CKF200 13 pcs 档门活动式
Wafer Frame Cassette
产品特点

● 专利字号:
台灣专利字号第M565877、M566707、M566903、M56690 号
中国专利字号第CN208400826U、CN208368484U、CN208538811U、CN208589423U、CN202323288643.4 号
美国专利字号第US10847394B2 号 

定制化项目
● 可雷雕、可装RFID 进行载具&材料追踪
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