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  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA Cassette

● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
● Shipping Box / Single Tray /
  Storage Box

● 其他
 

晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽
● 150mm(6吋)
● 200mm(8吋)

● 300mm(12吋)

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  封裝測試系列系列
● IC Tray / LED Tray / Frame / Frame Cassette / Frame Box
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● Solar Cassette/Clean Cassette
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| 200mm(8吋) 13 Slot Special Wafer Cassette (PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣

 
8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣
產品規格
● 產品名稱:8" 13 Slot Special Wafer Cassette / 製程耐溫密封卡匣
● 產品編碼:PE-C200-S
● 產品尺寸:292.2(L) x 220.53(W) x 325.88(H)mm
● 重  量:2130g
● 容  量:13 PCS
● 適用晶圓:8 inch (Ø200mm)
● 組成材質:PEI
● 槽  距:18.5mm
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產品說明

8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣,承載薄化晶圓用於一般製程,可耐溫120度,附蓋設計,加蓋後預防落塵可直接做傳輸使用。Cassette 設計有機械夾板,支援自動化傳輸,並有RunCard設計。

8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣 8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣

產品特點
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,可焊接。 一般傳輸製程
PEEK Cassette 120℃ 硬度高、耐磨,
不易變形。
PC Cassette 80~100℃ 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應力變形
PEI Cassette 120℃ 耐磨、抗靜電性。
客製化項目
● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
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