晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽 ● 150mm(6吋) ● 200mm(8吋) ● 300mm(12吋)
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Wafer Cassette 製程卡匣/製程晶舟盒/晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具 承載半導體晶圓片(矽晶圓、鍺、砷化鎵、碳化矽、氮化鎵…等,第二代半導體、第三代半導體材料)的容器,承載6吋晶圓,協助6吋晶圓導入8吋製程設備。 ● 可選抗靜電材料 ● 廠內傳送使用 ● 可搭配8吋SMIF Pod氣密保護晶圓