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| ● 產品名稱：Double Slot Cassette |
● 產品編碼：
無舌片款：DB-C200-T
有舌片款：DB-C200-B |
● 產品尺寸：
240(L) x 250(W) x 225(H)mm(8") |
| ● 重 量：900g |
| ● 容 量：13 PCS |
| ● 適用圓形基底尺寸：6 inch / 8 inch |
| ● 組成材質：客製化 |
| ● 槽 距：12.7mm |
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製程晶舟盒/晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具 承載半導體晶圓片的容器，使用在站別運輸或出貨用途，不可使用於化學製程。
● 可選抗靜電材料
● Thin Wafer承載方案
● 廠內傳送使用 |
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| 8吋Double Slot Cassette-無舌片 |
6吋Double Slot Cassette-有舌片 |
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| 材質 |
耐溫度 |
特性 |
Cassette 應用 |
| PFA Cassette |
200~220℃ |
耐 強酸 強氟酸 強鹼 |
酸鹼製程中使用 |
| PP Cassette |
40~60℃ |
重量輕，可焊接。 |
一般傳輸製程 |
| PEEK Cassette |
120℃ |
硬度高、耐磨，
不易變形。 |
| PC Cassette |
80~100℃ |
尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應力變形 |
| PEI Cassette |
130~150℃ |
耐磨、抗靜電性。 |
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| ● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤 |
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| Cassette 加裝RFID |
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Cassette 雷雕 |
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