ウェーハサイズ ● 150mm ● 200mm ● 300mm
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● 外形寸法:343(L) x 343(W) x 110.5 (H)mm
水平式ウェハーシッパー / スタックボックス 静電気防止の設計で、ウェハーを保護して、搬送用とウェハーの保管用途に使われる。また、スタックボックスは重ねることができるため、保管が容易である。
特長:横置きタイプなので、主に薄いウェハーを保存する場合は適している。
特許番号 台湾特許番号:M630272、M629599、M619380 中国特許番号:CN217009158U、CN217009170U