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● 製品名:200mm PFA ウエハカセット / Teflon ウエハカセット |
● 部品番号 :PF-C200-T |
● 外形寸法:203.05(L)*233.05(W)*218.44(H)mm |
● 重さ:1800g |
● 収納数:13 PCS |
● 丸形ベースサイズに適用:200mm ウエハ |
● 材質:Teflon / PFA |
● 溝ピッチ:12.7mm |
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PFA ウエハカセット / Teflon ウエハカセット, 化学用の製造プロセスに適用する。ウェハーキャリアである。一般的な酸またはアルカリに耐えることができる。
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材質 |
耐熱温度 |
特徴 |
用途 |
Metal ウエハカセット |
280~300℃ |
耐熱性に優 |
乾燥製造工程 |
PFA ウエハカセット |
200~220℃ |
洗浄性、耐薬品性 |
化学用の製造 |
PP ウエハカセット |
40~60℃ |
軽量化 |
一般的な製造 |
PEEK ウエハカセット |
120℃ |
帯電防止、耐熱性に優
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PC ウエハカセット |
80~100℃ |
安定性が良い |
PEI ウエハカセット |
130~150℃ |
耐熱性に優
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● 印字を付けることが可能となり、また、RFIDを付けて、治具及び、材料の追跡をすることが可能です。 |
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カセットにRFIDを付けることが可能です。 |
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カセットに印字を付けることが可能です。 |
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