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● 製品名:8" PEEK ウエハカセット |
● 部品番号 :PK-C200-T |
● 外形寸法:202.54(L)x235(W)x218.94(H)mm |
● 重さ:1140g |
● 収納数:13 PCS |
● 丸形ベースサイズに適用:200mm ウエハ |
● 材質:PEEK ESD |
● 溝ピッチ:12.7mm |
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PEEK ウエハカセット:特殊な製造プロセスであり、帯電防止PEEKカセットで、ウェハーキャリアである、高温での使用環境に適する。
材質 |
耐熱温度 |
特徴 |
用途 |
Metal ウエハカセット |
280~300℃ |
耐熱性に優 |
乾燥製造工程 |
PFA ウエハカセット |
200~220℃ |
洗浄性、耐薬品性 |
化学用の製造 |
PP ウエハカセット |
40~60℃ |
軽量化 |
一般的な製造 |
PEEK ウエハカセット |
120℃ |
帯電防止、耐熱性に優
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PC ウエハカセット |
80~100℃ |
安定性が良い |
PEI ウエハカセット |
130~150℃ |
耐熱性に優
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● Able to do laser engraving、Able to install RFID. Keep the track of carrier and material. |
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Able to install RFID |
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Cassette Able to do laser engraving |
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