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  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

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晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽
● 150mm(6吋)
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方片玻璃承載系列
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|200x200mm (8吋) Glass PEEK Cassette / 方片玻璃卡匣

 
200x200 Glass PEEK Cassette
產品規格
● 產品名稱:200x200 Glass PEEK Cassette
● 產品編碼:GL-C200-PK
● 產品尺寸:
 233.6(L) x 201.5(W) x 224.9(H)mm
● 重  量:1100g
● 容  量:25 PCS
● 適用吋別:8 inch (200x200mm) 方形Glass (對角線尺寸282.8mm)
● 組成材質:PEEK ESD
● 槽  距:6.36 mm
● 裝箱數:2 PCS
線上諮詢
產品說明
Glass PEEK Cassette 專為200x200mm方形玻璃Glass承載所設計的容器,另有150x150 Glass Cassette 等客製化尺寸。
產品特點
● 耐高溫、高耐磨、高穩定性材料
● Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~200℃ 硬度高、耐磨,
不易變形。
PC Cassette 80~100℃ 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應力變形
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
客製化項目
● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
加裝RFID   雷雕
加裝RFID   Cassette 雷雕
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