中勤實業股份有限公司 首頁 | 相關連結 | 日本語 | English | 简体中文 
 
關於中勤產品服務研發設計品質管理聯絡我們最新消息
產品服務
  home 首頁 > 產品服務 > 光罩盒 / RSP 150 / Mask SMIF Pod
產品服務
  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA Cassette

● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
● Shipping Box / Single Tray /
  Storage Box

● 其他
 

晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽
● 150mm(6吋)
● 200mm(8吋)

● 300mm(12吋)

  不銹鋼客製化系列
●晶圓框架 Metal Frame /
 Wafer Frame / Wafer Ring
 雷雕 刻字 清洗服務
  封裝測試系列系列
● IC Tray / LED Tray / Frame / Frame Cassette / Frame Box
  光罩傳輸系列
● 光罩盒 / RSP 150 /
  Mask SMIF Pod0
  方片玻璃承載系列
● Square Glass Cassette
  太陽能卡匣/載具系列
● Solar Cassette/Clean Cassette
  玻璃基板傳送卡匣系列
● Normal Cassette & 台車
● TFT-LCD Robot Fork工程實績
  光電半導體設備
● 檢驗治具及檢驗系統
  塑膠鋼模製造
● 模具射出代工服務
● 板棒材加工 / 零組件 / 加工組件
  無塵室潔淨清洗組裝及設備
● 無塵室清洗介紹
● 無塵室潔淨清洗機
  實驗室檢測服務
● 實驗室微污染離子檢測服務
 

 

 

| 業務諮詢
● 總公司-台灣
窗口:李小姐
電話:+886-3-318-5300 #202
傳真:+886-3-328-2290
信箱:sales@ckplas.com

● 總經銷-中國
窗口:李小姐
電話:+86-512-83667689/90
傳真:+86-512-83667691
信箱:sales@ckplas.com.cn

 

| 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150 / 光罩載具

 
BKM7/ Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒
產品規格
● 產品名稱:BKM7 光罩自動化傳輸盒
● 產品編碼:RSP-BKM7
● 產品尺寸:
 226.92(L) x 229.8(W) x 91.6(H)mm
● 重  量:1340g
● 容  量:1 PCS
● 適用光罩:6025光罩
   6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩
● 組成材質:PEEK
線上諮詢
 
產品說明

光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化曝光機台。

另區分Purge and Non Purge(具備潔淨充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制)

可搭配曝光機、光罩檢查機、POD自動化倉儲(stocker)…等相關光罩製程、傳輸使用機台。廠牌如ASML、Nikon、KLA…等,符合SEMI SMIF規範之機台,皆有可相容的型號產品提供。

BKM7/ Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒
吋別 材質 產品編碼 充氣功能 金屬遮蔽 裝箱數
ASYST ASML Pod
ABS RSP-A-A x x 4 PCS
ASYSYT Metal Pod ABS+SUS RSP-A-M x v 4 PCS
ASYST NIKON Pod ABS RSP-A-N x x 4 PCS
BKM7 (RSP150) PEEK RSP-BKM7 v v 4 PCS
UPPP (RSP150) PEEK RSP-UPPP v v 4 PCS
UPNP (RSP150) PC RSP-UPNP x x 4 PCS
CKPP (RSP150) PEEK RSP-CKPP v x 4 PCS
CKAP (RSP150) ABS RSP-CKAP v x 4 PCS
Nikon Reticle Case ABS+AL NR-C150 x x 14 PCS
產品特點
● 專利字號:台灣專利字號第D165985號
客製化項目
RFID安裝   條碼貼紙   Run Cad 安裝
RFID安裝   條碼貼紙   Run Cad 安裝
相關產品
UPPP / Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒/光罩自動化傳輸盒/光罩載具
 
9012 Mask Package Box 光罩盒/光罩載具
 
CKPP / Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒/光罩自動化傳輸盒/光罩載具
 
UPNP / Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒/光罩自動化傳輸盒/光罩載具
UPPP 光罩自動化傳輸盒   CKAP 光罩自動化傳輸盒   CKPP 光罩自動化傳輸盒   UPNP 光罩自動化傳輸盒
 
 
中勤實業股份有限公司
Copyright © 2018 中勤實業股份有限公司 All Rights Reserved.
简体中文English日本語 繁體中文 E-mail 中勤實業股份有限公司