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  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

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● Metal / PEEK Cassette
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| 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150 / 光罩載具

 
BKM7/ Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒
產品規格
● 產品名稱:BKM7 光罩自動化傳輸盒
● 產品編碼:RSP-BKM7
● 產品尺寸:
 226.92(L) x 229.8(W) x 91.6(H)mm
● 重  量:1340g
● 容  量:1 PCS
● 適用光罩:6025光罩
   6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩
● 組成材質:PEEK
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產品說明

光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化曝光機台。

另區分Purge and Non Purge(具備潔淨充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制)

可搭配曝光機、光罩檢查機、POD自動化倉儲(stocker)…等相關光罩製程、傳輸使用機台。廠牌如ASML、Nikon、KLA…等,符合SEMI SMIF規範之機台,皆有可相容的型號產品提供。

BKM7/ Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒
吋別 材質 產品編碼 充氣功能 金屬遮蔽 裝箱數
ASYST ASML Pod
ABS RSP-A-A x x 4 PCS
ASYSYT Metal Pod ABS+SUS RSP-A-M x v 4 PCS
ASYST NIKON Pod ABS RSP-A-N x x 4 PCS
BKM7 (RSP150) PEEK RSP-BKM7 v v 4 PCS
UPPP (RSP150) PEEK RSP-UPPP v v 4 PCS
UPNP (RSP150) PC RSP-UPNP x x 4 PCS
CKPP (RSP150) PEEK RSP-CKPP v x 4 PCS
CKAP (RSP150) ABS RSP-CKAP v x 4 PCS
Nikon Reticle Case ABS+AL NR-C150 x x 14 PCS
產品特點
● 專利字號:台灣專利字號第D165985號
客製化項目
RFID安裝   條碼貼紙   Run Cad 安裝
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