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| ● 製品名：4" PEEK ウエハカセット |
| ● 部品番号 ：PK-C100 |
| ● 外形寸法：142.0(L) x 125.5(W) x 114.5(H)mm |
| ● 重さ：240g |
| ● 収納数：25 PCS |
| ● 丸形ベースサイズに適用：100mm ウエハ |
| ● 材質：PEEK ESD |
| ● 溝ピッチ：4.76mm |
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PEEK ウエハカセット：特殊な製造プロセスであり、帯電防止PEEKカセットで、ウェハーキャリアである、高温での使用環境に適する。
| 材質 |
耐熱温度 |
特徴 |
用途 |
| Metal ウエハカセット |
280~300℃ |
耐熱性に優 |
乾燥製造工程 |
| PFA ウエハカセット |
200~220℃ |
洗浄性、耐薬品性 |
化学用の製造 |
| PP ウエハカセット |
40~60℃ |
軽量化 |
一般的な製造 |
| PEEK ウエハカセット |
120℃ |
帯電防止、耐熱性に優
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| PC ウエハカセット |
80~100℃ |
安定性が良い |
| PEI ウエハカセット |
130~150℃ |
耐熱性に優
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| ● Able to do laser engraving、Able to install RFID. Keep the track of carrier and material. |
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| Able to install RFID |
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Cassette Able to do laser engraving |
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