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| ● 製品名：Frame FOUP |
| ● 部品番号 ：CKF300 |
| ● 外形寸法：387.0(L) x 392.0(W) x 196(H)mm |
| ● 収納数：13 PCS |
| ● 丸形ベースサイズに適用：12 inch (Ø300mm) |
| ● 材質：PC+CNT |
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| ● Airtight, Anti-static, Light weighted.● Original equipment applicable, and AMHS applicable. E-rack automated storage. ● Top Flange high-strength materials, and anti-shock and wear resistance. |
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| 製品名 |
ウエハサイズ |
部品番号 |
収納数 |
違さ |
| Frame FOUP |
12" |
CKF300 |
13 pcs |
バッフル開けタイプ |
| Frame FOUP |
8" |
CKF200 |
13 pcs |
特許番号
台湾特許番号：M489156、M508114、M565877、M566707、M566903、M566905
中国特許番号：CN208400826U、CN208368484U、CN208538811U、CN208589423U
美国特許番号：US10847394 |
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| ● 印字を付けることが可能となり、また、RFIDを付けて、治具及び、材料の追跡をすることが可能です。 |
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