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  光電・半導体製品 ウエハキャリア
● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA ウエハカセット
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● Metal / PEEK ウエハカセット
● Shipping Box / Single Tray /
Storage Box

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  ウェーハサイズ
● 200mm
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Mask SMIF Pod0
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  TFT-LCD-ノーマルカセット各世代の大型化のニーズ、軽量化、クリーンルーム用、ESD等対策に応じた設計
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● クリーンルームの洗浄について
● 洗浄機設備 / 超音波洗浄機 / デスクトップ型洗浄機 / 単槽式洗浄 / 丸棒コーティング洗浄
 

 


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電話番号 +886-3-318-5300
FAX番号 +886-3-328-2290
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| 300mm(12 inch) 13 枚 C タイプ FOUP

 
300mm(12吋) 13slot C type FOUP 前開式晶圓傳送盒/晶圓載具
製品仕様
● 製品名:CK313 FOUP
● 部品番号 :CK313-C
● 外形寸法:440(L) x 348(W) x 338(H)mm
● 重さ:6500g
● 収納数:13 枚,C タイプ
● ウエハサイズ:300mm ウエハ
● 材質:カスタマイズ
● 溝ピッチ:20mm
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コンセプト

ウェハーを保護するか、搬送するか、あるいは、保存する用途である。ウェハー側に埃の汚染及び、静電気の損害を有効的には、下げることが可能となる。 AMHS自動化マシーンにも対応できる。 25枚用は、一般的なウェハーに適用する。13枚用は、グラスキャリアと薄いウェハーに適用する。

FOUP CK300 - front
FOUP CK300/313 - フロント

FOUP CK300 - backFOUP CK300/313 - バック

FOUP Door KeyFOUP Door Key

FOUP
FOUP CK313 FOUP CK313 FOUP CK300
FOUP CK313
13 枚 C タイプ
FOUP CK313
13 枚 M タイプ
FOUP CK300
25 枚
特許番号
台湾特許番号:M528296、I549881、 I586597
中国特許番号:CN205609490U、CN204348693U、 CN206259327U
カスタマイズ
FOUP CK300 Able to install RFID Installation of Run Card
● Able to install RFID

● Installation of Run Card

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