ウェーハサイズ ● 150mm ● 200mm ● 300mm
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IC トレー カセット / Tray カセット:ウェハーから、切り出したICを トレーにいれて、トレー専用の自動切換えマシーンへ導入する。
特許番号 台湾特許番号M583617、M583619、M584539、M584540、M573078、M519811