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  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA Cassette

● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
● Shipping Box / Single Tray /
  Storage Box

● 其他
 

晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽
● 150mm(6吋)
● 200mm(8吋)

● 300mm(12吋)

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●晶圓框架 Metal Frame /
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● 光罩盒 / RSP 150 /
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| 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒 150mm(6吋) (Low Profile)

 
鐵氟龍晶舟盒
產品規格
● 產品名稱:6" Teflon Cassette Low Profile/ PFA Cassette
● 產品編碼:PF-C150-L
● 產品尺寸:
 178(L) x 144(W) x 115(H)mm
● 重  量:666.9g
● 容  量:25 PCS
● 適用圓形基底尺寸:6 inch (Ø150mm)
● 組成材質:Teflon(鐵氟龍) / PFA
● 槽  距:4.76mm
線上諮詢
產品說明
鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒 為承載半導體晶圓片(矽晶圓、鍺、砷化鎵、碳化矽、氮化鎵…等,第二代半導體、第三代半導體材料)的容器,可依照客戶需求設計,耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼,應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。
進入化學酸、鹼蝕刻製程中,鐵氟龍卡匣需要靠手把夾持,可搭配鐵氟龍手把使用
進入化學酸、鹼蝕刻製程中,鐵氟龍晶舟盒需要靠手把夾持,可搭配鐵氟龍手把使用。
鐵氟龍晶舟盒

鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒 2"~8" 25 slot (High Profile)

Teflon Cassette / PFA Cassette 全尺寸編碼列表
吋別 備註 產品編碼 尺寸 裝箱數
2" 無豆 PF-C050-B 142.1(L) x 67.8(W) x 59.00(H)mm 10 PCS
2" 有豆 PF-C050 142.1(L) x 67.8(W) x 59.0(H)mm 10 PCS
2.5"   PF-C060 142(L) x 79(W) x 73(H)mm N/A
3"   PF-C075 142.49(L) x 94.36(W) x 82.53(H)mm 1 PCS
4"   PF-C100 142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm 16 PCS
4" 鏤空 PF-C100-H 142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm 16 PCS
5"   PF-C125 152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm 6 PCS
6"   PF-C150 143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" 黑色 PF-C150-B 143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" 12 Slot PF-C150-T 177.8(L) x 143.38(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" Low Profile PF-C150-L 143.38(L) x 177.81(W) x 114.3(H)mm 12 PCS
8"   PF-C200 203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" 鏤空 PF-C200-H 203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" 13 Slot PF-C200-T 203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" Low Profile PF-C200-L 220.5(L) x 234.19(W) x 159(H)mm 1 PCS
12" 13 Slot PF-C300-T 350(L) x 180(W) x 320(H)mm N/A

 

產品特點
● Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette
鐵氟龍晶舟盒
200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 120℃ 硬度高、耐磨,
不易變形。
PC Cassette 80~100℃ 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應力變形
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
 
客製化項目
● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
鐵氟龍晶舟盒 / Cassette 加裝RFID   鐵氟龍晶舟盒 / Cassette 雷雕
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