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產品服務

Metal Cassette

晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)
● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA Cassette
● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
● Shipping Box / Single Tray /
　 Storage Box
● 其他

晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽
● 150mm(6吋)
● 200mm(8吋)
● 300mm(12吋)

不銹鋼客製化系列
●晶圓框架 Metal Frame /
　Wafer Frame / Wafer Ring
　雷雕刻字清洗服務

封裝測試系列系列
● IC Tray / LED Tray / Frame / Frame Cassette / Frame Box

光罩傳輸系列
● 光罩盒 / RSP 150 /
　 Mask SMIF Pod

方片玻璃承載系列
● Square Glass Cassette
● 面板級扇出型封裝系列

太陽能卡匣/載具系列
● Solar Cassette/Clean Cassette

玻璃基板傳送卡匣系列
● Normal Cassette & 台車
 ● TFT-LCD Robot Fork工程實績

光電半導體設備
● 檢驗治具及檢驗系統

塑膠鋼模製造
● 模具射出代工服務
● 板棒材加工 / 零組件 / 加工組件
● CFRP碳纖維複合材料開發應用

無塵室潔淨清洗組裝及設備
● 無塵室清洗介紹
 ● 無塵室潔淨清洗機
 ● ESG綠色清洗循環(晶圓盒清洗)

實驗室檢測服務
● 實驗室微污染離子檢測服務

業務諮詢
● 總公司-台灣
窗口：李小姐
電話：+886-3-318-5300 #202
傳真：+886-3-328-2290
信箱：sales@ckplas.com

● 總經銷代理-中國
窗口：李小姐
電話：+86-512-83667689/90
傳真：+86-512-83667691
信箱：sales@ckplas.com.cn

金屬晶圓盒 75mm(3吋) / 鐵製晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣

● 產品名稱：3" Metal Cassette

● 產品編碼：MT-C075

● 產品尺寸：
　143.2(L) x 89.6(W) x 85(H)mm

● 重　　量：

● 容　　量：25 PCS

● 適用圓形基底尺寸：3 inch (Ø75mm)

● 組成材質：Metal

● 槽　　距：4.76 mm

金屬晶圓盒 / 鐵製晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣 / Metal Cassettem。承載半導體、發光二級體磊晶片、長晶片、晶圓片(矽晶圓、鍺、砷化鎵、碳化矽、氮化鎵…等，第二代半導體、第三代半導體材料)的容器，使用在不同半導體，二級發光體長晶磊晶電池片製程中，耐高溫，廠內傳送使用。

金屬晶圓盒 / 鐵製晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣 /
Metal Cassettem 2"~12"

吋別	備註	產品編碼	尺寸(mm)
2" Metal Cassette	25 Slot	MT-C050	142.6(L) x 62(W) x 58.5(H)
3" Metal Cassette	四柱款25 Slot	MT-C075	143.2(L) x 89.6(W) x85(H)
4" Metal Cassette	25 Slot	MT-C100-A	125.5(L) x 143(W) x 115(H)
4" Metal Cassette	50 Slot	MT-C100-B	147.5(L) x 107(W) x115.5(H)
4" Metal Cassette	50 Slot	MT-C100-C	147.5(L) x 107(W) x115.5(H)
4" Metal Cassette	12 Slot	MT-C100-T	125.5(L) x 143(W) x 115(H)
6" Metal Cassette	25 Slot	MT-C150-A	143.38(L) x 177.8(W) x 171.4(H)
6" Metal Cassette	四柱款25 Slot	MT-C150-B	165.3(L) x 143(W) x 159(H)
6" Metal Cassette	50 Slot	MT-C150-C	158(L) x 176(W) x 165.5(H)
6" Metal Cassette	12 Slot	MT-C150-T	143.38(L) x 177.8(W) x 171.33(H)
8" Metal Cassette	25 Slot	MT-C200-A	214(L) x 202.7(W) x 206(H)
8" Metal Cassette	25 Slot	MT-C200-B	205.54(L)x240(W)x218.94(H)
12" Metal Cassette	25 Slot	MT-C300	312(L) x 388.8(W) x 316.8(H)

● Cassette依材質特性的選擇參考：

材質	耐溫度	特性	Cassette 應用
PFA Cassette	200~220℃	耐強酸強氟酸強鹼	酸鹼製程
Metal Cassette 鐵製晶圓盒	280~300℃	可客製化設計及修改，堅固耐用、不易毀損，並防止Particle、沾污等問題。	高溫製程
PP Cassette	40~60℃	重量輕，可焊接，缺點易變形。	一般傳輸製程
PEEK Cassette	120℃	硬度高、耐磨，不易變形。
PC Cassette	80~100℃	尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應力變形
PEI Cassette	130~150℃	耐磨、抗靜電性。

● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤


加裝RFID		Cassette 雷雕