【台北訊】專注在客製化晶圓、光罩、玻璃傳載及儲存設備的中勤實業，將參加9月23日盛大登場的 SEMICON Taiwan台灣國際半導體展(攤位I2616)，針對智慧製造、先進製程與綠色製造三大 領域展出的解決方案，展示一系列全廠自動化智能載具、異質整合面板級扇出型封裝智能基板 載具、晶圓盒綠色清洗循環服務的自動化出貨追蹤。
全球受到新冠疫情衝擊之下，加速推動產業自動化、數位化、智能化，中勤與科技大廠合 作開發全廠自動化智能各類型載具，設計上採高強度材質，抗震耐磨耗，支援全自動搬運軌道 系統AMHS、無人車AGV搬運，如晶圓傳送盒FOUP、Frame Cassette、Magazine Cassette及 Jedec Tray Cassette...等智慧化承載。增加作業的效率及安全性，提升良率，可更有效利用廠內 空間。產品更獲得2020台灣精品獎，於智慧機械線上台灣精品館展出，廣獲好評。當中最新開 發的CKH300 FOUP，有效應用於一般及薄化晶圓的承載，滿載13pcs thin wafers，足以應對各 式薄化晶圓之變形量及機械手臂的高相容性，獨創專利技術領先業界，甫推出便供不應求。
市場聚焦5G及人工智慧(AI)應用，作為電子設備的關鍵元件，第三代半導體快速崛起，氮 化鎵在未來的市場會逐漸成為主流材料。中勤在前二代材料最重視的微污染防治，已協助客戶 有效提高良率。第三代半導體亦被稱為高溫半導體材料，除了潔淨度要求， 製程載具需要具 有更好的耐磨性、耐燃性、耐候性、耐輻射性以及電氣性質，提高材料面上的應用能力日趨重 要。中勤研發團隊開發多款特殊材料，如氮化奈米氟、CFRP碳纖維複合材料、高潔淨度低吸 濕性材料等，依照客戶需求的環境溫度與材料特性提供最佳解決方案。
中勤的晶圓盒綠色清洗循環服務獲環保署頒發循環經濟評鑑2星肯定，更開發自動化出貨 追蹤-智能棧板物流箱，已導入科技大廠。整體設計支援大型機械手臂，搭配無人車AGV搬 運，可遠端監控出貨物流運送震動，改善產品運送、儲存與報廢數量，環保回收可重複使用， 環保趨勢產品，解決工業4.0對應需求，協助客戶打造更有效率的綠色智慧工廠。
新聞連結：工商時報
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