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  光電・半導体製品 ウエハキャリア
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● Teflon / PFA ウエハカセット
● PP / PEI / PCカセット
● Metal / PEEK ウエハカセット
● Shipping Box / Single Tray /
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● Other
 

ウェーハサイズ
● 150mm
● 200mm
● 300mm

  ステンレス製品
● Metal Frame /Wafer Frame / Wafer Ring
  半導体パッケージ
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  太陽電池キャリア-ソーラーウェーハカセット/Solar Transfer/ウェーハカセット/メタルカセット
● Solar Cassette/Clean Cassette
  TFT-LCD-ノーマルカセット各世代の大型化のニーズ、軽量化、クリーンルーム用、ESD等対策に応じた設計
● 真空ピッカー/ Vacuum Picker / Vacuum Penガラス基盤向け搬送用のカセットシリーズ-ガラス基板カセット / 自動化の台車
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● クリーンルームの洗浄について
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| 150mm PFA ウエハカセット / Teflon ウエハカセット/ Teflon Cassette / PFA Cassette /ウェハーキャリア

 
PFA ウエハカセット / Teflon ウエハカセット
製品仕様
● 製品名:150mm PFA ウエハカセット / Teflon ウエハカセット(Low Profile)
● 部品番号 :PF-C150-L
● 外形寸法:178(L) x 144(W) x 115(H)mm
● 重さ:666.9g
● 収納数:25 PCS
● 丸形ベースサイズに適用:150mm ウエハ
● 材質:Teflon / PFA
● 溝ピッチ:4.76mm
お問い合わせ
コンセプト
PFA ウエハカセット / Teflon ウエハカセット, 化学用の製造プロセスに適用する。ウェハーキャリアである。一般的な酸またはアルカリに耐えることができる。
製品特徴
材質 耐熱温度 特徴 用途
Metal ウエハカセット 280~300℃ 耐熱性に優 乾燥製造工程
PFA ウエハカセット 200~220℃ 洗浄性、耐薬品性 化学用の製造
PP ウエハカセット 40~60℃ 軽量化 一般的な製造
PEEK ウエハカセット 120℃ 帯電防止、耐熱性に優
PC ウエハカセット 80~100℃ 安定性が良い
PEI ウエハカセット 130~150℃ 耐熱性に優
 
カスタマイズ
● 印字を付けることが可能となり、また、RFIDを付けて、治具及び、材料の追跡をすることが可能です。
カセットにRFIDを付けることが可能です。   カセットに印字を付けることが可能です。
カセットにRFIDを付けることが可能です。   カセットに印字を付けることが可能です。
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