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Mask SMIF Pod0
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| レチクル SMIF ポッド / Reticle SMIF Pod -BKM7

 
レチクル SMIF ポッド / Reticle SMIF Pod
製品仕様
● 製品名:BKM7 レチクル SMIF ポッド
● 部品番号 :RSP-BKM7
● 外形寸法:226.92(L) x 229.8(W) x 91.6(H)mm
● 重さ:1340g
● 収納数:1 PCS
● 適応サイズ:6025 Mask(6 inch)
● 材質:PEEK
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コンセプト

 

Reticle SMIF Pod / RSP150
6インチのRSP製品は、各工程にレチクルを安全に運ぶことが可能です。高い清浄度を維持することが出来る設計になっています。さらに自動化マシーンに応用している。N2 Purge機構を採用しているのでさらに内部の清浄度のあげることが出来る。
ASML、Nikon、Canon…などの関連RSPの製造工程/運送用マシーンに対応できる製品を提供できる。

BKM7/ Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒
製品特徴
特許番号
台湾特許番号:M409239、D165985
中国特許番号:CN201917776U
カスタマイズ
カセットにRFIDを付けることが可能です。   バーコード識別ステッカーを貼り付けて、管理と追跡を容易にします。   Run Cad
カセットにRFIDを付けることが可能です。   バーコード識別ステッカーを貼り付けて、管理と追跡を容易にします。   Run Cad
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