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| PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒 300mm(12英寸) 13 Slot

 
PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒
产品规格
● 产品名称:12" Teflon Cassette / PFA Cassette (薄片晶圆适用)
● 产品编码:PF-C300-T
● 产品尺寸:350(L) x 180(W) x 320(H)mm
● 重  量:3600g
● 容  量:13 PCS
● 适用圆形衬底尺寸:12 inch (Ø300mm)
● 组成材质:Teflon(铁氟龙) / PFA
● 槽  距:10mm
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产品说明
PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒 为 为承载半导体晶圆片/硅片的容器,可依照客户需求设计,全氟烷氧基材質有优良的化学稳定性,耐高温200~220℃、耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱),主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。槽距较大的设计,可应用于薄片晶圆。
进入化学酸、碱蚀刻制程中,铁氟龙卡匣需要靠手把夹持,可搭配铁氟龙手把使用。
进入化学酸、碱蚀刻制程中,铁氟龙卡匣需要靠手把夹持,可搭配铁氟龙手把使用。
PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 6"、8"、12" 12/13 slot晶舟提把 / 晶舟手把 / 晶圆提把 / 晶圆手把 / 晶舟夾 / PFA Handle / Teflon Handle(M Type)
PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 6"、8"、12" 12/13 slot

氮化奈米氟会呼吸的材料!

PFA花篮 / Teflon Cassette / PFA Cassette 全尺寸编码列表
寸別 备注 产品编码 尺寸 装箱数
2" 无豆 PF-C050-B 142.1(L) x 67.8(W) x 59.00(H)mm 10 PCS
2" 有豆 PF-C050 142.1(L) x 67.8(W) x 59.0(H)mm 10 PCS
2.5"   PF-C060 142(L) x 79(W) x 73(H)mm N/A
3"   PF-C075 142.49(L) x 94.36(W) x 82.53(H)mm 1 PCS
4"   PF-C100 142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm 16 PCS
4" 镂空 PF-C100-H 142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm 16 PCS
5"   PF-C125 152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm 6 PCS
6"   PF-C150 143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" 黑色 PF-C150-B 143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" 12 Slot PF-C150-T 177.8(L) x 143.38(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" Low Profile PF-C150-L 143.38(L) x 177.81(W) x 114.3(H)mm 12 PCS
8"   PF-C200 203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" 镂空 PF-C200-H 203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" 13 Slot PF-C200-T 203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" Low Profile PF-C200-L 220.5(L) x 234.19(W) x 159(H)mm 1 PCS
12" 13 Slot PF-C300-T 350(L) x 180(W) x 320(H)mm N/A

 

产品特点
● Cassette依材质特性的选择參考:
材质 耐温度 特性 Cassette 应用
PFA Cassette
铁氟龙晶圆盒
200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強碱 酸碱制程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量轻,
可焊接,缺点易变形。
一般传输制程
PEEK Cassette 120℃ 硬度高、耐磨,
不易变形。
PC Cassette 80~100℃ 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易应力变形
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗静电性。
 
定制化项目
● 可雷雕、可装RFID进行载具&材料追踪
PFA花篮/铁氟龙卡匣 / Cassette 加装RFID   PFA花篮/铁氟龙卡匣 / Cassette 雷雕
PFA花篮/铁氟龙卡匣 / Cassette 加装RFID   PFA花篮/铁氟龙卡匣 / Cassette 雷雕
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