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硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览
● 150mm(6寸)
● 200mm(8寸)
● 300mm(12寸)

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Frame FOUP

● 产品名称：Frame FOUP

● 产品编码：CKF300

● 产品尺寸：
　387.0(L) x 392.0(W) x 196(H)mm

● 容　　量：13 PCS

● 适用圆形衬底尺寸：12 inch (Ø300mm)

● 组成材质：PC+CNT

● 装箱数：2 PCS

一体成形，门片可使用机械自动化开启，密闭式、抗静电、轻量化。

支援原有机台载入、支援自动化传输系统、智慧料架自动化储存。

高强度 Top Flange，抗震耐磨。

● 专利字号：
台灣专利字号第M565877、M566707、M566903、M56690 号
中国专利字号第CN208400826U、CN208368484U、CN208538811U、CN208589423U、CN202323288643.4 号
美国专利字号第US10847394B2 号

● 可雷雕、可装RFID 进行载具&材料追踪