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(半導體系列)

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|光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150 / UPNP / 光罩載具

 
UPNP / Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒/光罩自動化傳輸盒/光罩載具
產品規格
● 產品名稱:UPNP 光罩自動化傳輸盒
● 產品編碼:RSP-UPNP
● 產品尺寸:
 227.5(L) x 229.8(W) x 92.5(H)mm
● 重  量:1188g
● 容  量:1 PCS
● 適用光罩:6025光罩
   6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩
● 組成材質:PC / PEEK
線上諮詢
 
產品說明

光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化曝光機台。

另區分Purge and Non Purge(具備潔淨充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制)

可搭配曝光機、光罩檢查機、POD自動化倉儲(stocker)…等相關光罩製程、傳輸使用機台。廠牌如ASML、Nikon、KLA…等,符合SEMI SMIF規範之機台,皆有可相容的型號產品提供。

產品特點
● 專利字號:
台灣專利字號第M409239號
中國大陸專利字號第CN201917776U號
客製化項目
RFID安裝   條碼貼紙   Run Cad 安裝
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