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  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

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電話:+886-3-318-5300 #203
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| 200mm(8吋) 13 Slot Wafer Cassette(Back Support) 製程晶舟盒/晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具

 
200mm(8吋) 13 Slot Wafer Cassette(Slim Type-有舌片專利產品) 製程晶舟盒/晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具
產品規格
● 產品名稱:8" Wafer Cassette(Back Support)
● 產品編碼:PP-C200-B
● 產品尺寸:
 202.54(L) x 235(W) x 218.94(H)mm
● 重  量:900g
● 容  量:13 PCS
● 適用晶圓:8 inch (Ø200mm)
      厚度0.5mm~0.7mm晶圓
● 組成材質:ESD Resin
● 槽  距:12.7mm
線上諮詢
產品說明
Wafer Cassette 製程晶舟盒/晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具 承載半導體晶圓片的容器,使用在站別運輸或出貨用途,不可使用於化學製程。不同的顏色使用,方便在製程上分站管理,有效的提高生產品質。
● 可選抗靜電材料
● 廠內傳送使用
● 適用於薄化晶圓
● 可搭配Storage Box氣密保護晶圓
200mm(8吋) 13 Slot Wafer Cassette(Slim Type-有舌片專利產品) 製程晶舟盒/晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具 200mm(8吋) 13 Slot Wafer Cassette(Slim Type-有舌片專利產品) 製程晶舟盒/晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具
產品特點

● 專利字號:
台灣專利字號第M394313號
中國大陸專利字號第CN201741675U號

材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,可焊接。 一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫,
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
客製化項目
● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
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