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  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

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| 鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 200mm(8吋) 13 Slot

 
鐵氟龍晶圓盒
產品規格
● 產品名稱:8" Teflon Cassette / PFA Cassette
● 產品編碼:PF-C200-T
● 產品尺寸:
  203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm
● 重  量:1800g
● 容  量:13 PCS
● 適用晶圓:8 inch (Ø200mm) 晶圓
● 組成材質:Teflon(鐵氟龍) / PFA
● 槽  距:12.7mm
線上諮詢
產品說明
鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 為 承載半導體晶圓片的容器,可依照客戶需求設計,耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼,應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。槽距較大的設計,可應用於薄化晶圓。
進入化學酸、鹼蝕刻製程中,鐵氟龍卡匣需要靠手把夾持,可搭配鐵氟龍手把使用
進入化學酸、鹼蝕刻製程中,鐵氟龍晶圓盒需要靠手把夾持,可搭配鐵氟龍手把使用。
鐵氟龍晶圓盒
鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 6"、8"、12" 13 slot
產品特點
● Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette
鐵氟龍晶圓盒
200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫,
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
 
客製化項目
● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
鐵氟龍晶圓盒 / Cassette 加裝RFID   鐵氟龍晶圓盒 / Cassette 雷雕
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