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  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

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| 6.125吋 PEEK Cassette / 晶舟盒 / 晶圓盒 /晶圓載具

 
6.125吋 PEEK Cassette / 晶舟盒/晶圓載具
產品規格
● 產品名稱:6.125" PEEK Cassette
● 產品編碼:PK-C155
● 產品尺寸:
 199(L) x 143.5(W) x 171.3(H)mm
● 重  量:369g
● 容  量:25 PCS
● 適用晶圓:6.125 inch 晶圓
● 組成材質:PEEK ESD
● 槽  距:4.76 mm
線上諮詢
產品說明
PEEK Cassette 晶舟盒 晶圓載具 承載半導體晶圓片的容器,使用在站別運輸或出貨用途,不可使用於化學製程。
產品特點
● 耐高溫、高耐磨、高穩定性、抗靜電性材料
● 廠內傳送使用
● 可搭配6" Storage Box氣密保護晶圓
● Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫,
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
客製化項目
● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
加裝RFID   雷雕
加裝RFID   Cassette 雷雕
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