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  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA Cassette

● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
● Shipping Box / Single Tray /
  Storage Box

● 其他
 

晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽
● 150mm(6吋)
● 200mm(8吋)

● 300mm(12吋)

  不銹鋼客製化系列
●晶圓框架 Metal Frame /
 Wafer Frame / Wafer Ring
 雷雕 刻字 清洗服務
  封裝測試系列系列
● IC Tray / LED Tray / Frame / Frame Cassette / Frame Box
  光罩傳輸系列
● 光罩盒 / RSP 150 /
  Mask SMIF Pod0
 

方片玻璃承載系列
● Square Glass Cassette
● 面板級扇出型封裝系列

  太陽能卡匣/載具系列
● Solar Cassette/Clean Cassette
  玻璃基板傳送卡匣系列
● Normal Cassette & 台車
● TFT-LCD Robot Fork工程實績
  光電半導體設備
● 檢驗治具及檢驗系統
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● 板棒材加工 / 零組件 / 加工組件
  無塵室潔淨清洗組裝及設備
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| 光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / ASYST NIKON Pod
 
光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / ASYST NIKON Pod
產品規格
● 產品名稱:
ASYST NIKON Pod 光罩自動化傳輸盒
● 產品編碼:RSP-A-N
● 產品尺寸:230(L) x 214.5(W) x 92(H)mm
● 重  量:1298.5g
● 容  量:1 PCS
● 適用光罩:6025光罩
   6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩
● 組成材質:ABS / PC
線上諮詢
產品說明

光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化機台。ASYST NIKON Pod適用於NIKON曝光機。

吋別 材質 產品編碼 充氣功能 金屬遮蔽 裝箱數
ASYST ASML Pod
ABS RSP-A-A x x 4 PCS
ASYSYT Metal Pod ABS+SUS RSP-A-M x v 4 PCS
ASYST NIKON Pod ABS RSP-A-N x x 4 PCS
BKM7 (RSP150) PEEK RSP-BKM7 v v 4 PCS
UPPP (RSP150) PEEK RSP-UPPP v v 4 PCS
UPNP (RSP150) PC RSP-UPNP x x 4 PCS
CKPP (RSP150) PEEK RSP-CKPP v x 4 PCS
CKAP (RSP150) ABS RSP-CKAP v x 4 PCS
Nikon Reticle Case ABS+AL NR-C150 x x 14 PCS
客製化項目
光罩傳輸盒RFID安裝   光罩傳輸盒條碼貼紙   光罩傳輸盒Run Cad 安裝
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