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| 光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / ASYST ASML Pod

 
光罩傳輸盒
產品規格
● 產品名稱:
ASYST ASML Pod 光罩自動化傳輸盒
● 產品編碼:RSP-A-A
● 產品尺寸:230(L) x 214.5(W) x 92(H)mm
● 重  量:1298.5g
● 容  量:1 PCS
● 適用光罩:6025光罩
   6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩
● 組成材質:ABS / PC
線上諮詢
產品說明
光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化機台。ASYST ASML Pod適用於ASML曝光機。
產品特點
● 專利字號:
台灣專利字號第M409239號
中國大陸專利字號第CN201917776U號
客製化項目
光罩傳輸盒RFID安裝   光罩傳輸盒條碼貼紙   光罩傳輸盒Run Cad 安裝
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